瑞士VAT公司是全球真空閥門的領導者，專業(yè)從事各類高品質真空閥門的研發(fā)、制造、銷售和服務。產品廣泛使用于半導體、平板顯示器、太陽能、光電、真空鍍膜、科研機構等高科技行業(yè)和領域，多年來全球市場份額穩(wěn)居第一。
VAT專注于真空閥門領域，因其強大的研發(fā)創(chuàng)新能力和業(yè)界聞名的高品質，世界各領先半導體芯片設備以及太陽能設備制造廠商都在其機臺設備中大量采用了VAT公司的產品。徽拓真空閥門（上海）有限公司是VAT在華全資子公司，負責VAT全系列產品在中國市場的銷售和售后服務VAT Switzerland is the worldwide market leader in vacuum valves, specialize in all kinds of high quality Vacuum Valves, include R&D、Manufacture、Sales and Service.VAT business scope covers many industries & fields, such as Semiconductor manufacturing, LED, FDP, Solar, Opto-electrical, Coating, R & D center and so on. In the past years, VAT valves have the highest market share worldwide.VAT has fully specialized in vacuum valve technology. Own to its InnoVATion and high quality VAT enjoy a good reputation in Vacuum valve industry. Most major Semiconductor & Solar leaders use VAT valve as a standard part in their system.VAT Vacuum Valves(Shanghai) Co., Ltd is the wholly –Owned subsidiary of VATGroup which located in China, can provide all series of  VAT valves for Sales and after service.

產品推薦

VAT S121型鋁合金真空插板閥，作為VAT最經典的閥門系列之一，廣泛應用于低溫泵或分子泵的隔斷、科研系統(tǒng)Loadlock隔斷、工業(yè)真空、真空鍍膜設備、半導體設備前級泵隔離等。

S121真空插板閥具有通用性強、成本低、易于維護、關閉位置機械鎖定、能抵御全壓差等特點。更有嵌入式版本節(jié)省設備空間。

 1. 經典的VATLock專利閥板鎖緊機構。依靠水滴型滾珠槽配合連接與正反面閥板的彈簧片，完成軸向撐開動作，實現(xiàn)關閉位置機械鎖死。避免因壓縮空氣失效引起的設備故障。水滴型槽更是使閥門運動更加平緩，減少沖擊，延長使用壽命。

2. 運動中的低顆粒物生成。閥板在真空中是懸浮的，沒有軸承、沒有軌道。

 

3. 易于維護。容易拆卸，只需松開兩側螺絲即可抽出驅動器和閥板。簡單維護無需拆卸法蘭。維護后裝回無需調整。且拆卸占用空間極小。

4. 模塊化設計。各種形式驅動器、閥體、閥板機構都能互換、兼容。

5. 小尺寸（DN50-100）更有無法蘭的嵌入式緊湊版本供選擇。

詳細技術規(guī)格

高真空泵隔斷：

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